二氧化硅拋光液在拋光過程中會出現(xiàn)結(jié)晶并結(jié)塊，雖然問題不大，但如果處理不當(dāng)，工件表面很可能會被劃傷甚至報廢。那么我們該如何解決二氧化硅拋光液結(jié)晶問題呢？
首先，我們應(yīng)該了解硅溶膠拋光液的性質(zhì)和屬性。二氧化硅拋光液是一種由高純度硅粉經(jīng)水解離子、交換工藝制成的高純度低金屬離子產(chǎn)品。在含水環(huán)境中，容易形成離子網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。一旦水被分離，表面很快凝結(jié)成晶體塊。所以只要保持水分，基本上不會發(fā)生結(jié)晶。在實際的CMP拋光過程中，硅溶膠拋光溶液會一直在研磨板上旋轉(zhuǎn)和流動，結(jié)晶較少。
因此，氧化硅拋光液的儲存環(huán)境應(yīng)在5-30℃之間，放置在陰涼避光的地方，而且拋光工作完成后，需要及時清潔光盤表面和拋光墊，這樣不容易在拋光墊和機(jī)床臺面上留下二氧化硅晶體。
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